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机译:微机械硅谐振加速度计的设计与实现
Libin Huang; Hui Yang; Yang Gao; Liye Zhao; Jinxing Liang;
机译:微机械硅共振加速度计的结构设计
机译:微机械硅谐振加速度计的相位噪声分析
机译:具有低温敏感性的微机械硅共振加速度计的设计与仿真
机译:硅微机械谐振器的设计与表征。
机译:基于微机械陀螺仪形成测试冲击运动质量的方法,用于调节微机械陀螺仪的共振频率悬浮运动质量的方法,确定该悬架相移的方法以及对微机械陀螺仪的正确操作进行连续测试的方法,电极产生微机械陀螺仪和微机械陀螺仪(可选)的测试IMPACT移动质量的结构,实现了该方法和电极结构
机译:共振微机械加速度计
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